中文名稱
二次離子譜儀
英文名稱
secondary ion spectrometer
定 義
適用于元素的表面分布、深度分布的微區分析的能譜儀。
應用學科
機械工程（一級學科），分析儀器（二級學科），能譜和射線分析儀器-能譜和射線分析儀器儀器和附件（三級學科）
