在掃描電鏡中對樣品加熱在許多材料科學研究中已經成了一項必不可少的手段，使用掃描電鏡原位加熱臺可以進行動態地觀察溫度變化過程中的材料微觀變化及失效分析。如今被廣泛應用于金屬材料、液晶檢測、半導體、高分子材料、流體包裹體、生物工程等眾多領域。原位加熱臺能夠使我們動態地觀察樣品在加熱過程中的相變、再結晶、晶粒生長與氧化現象。原位加熱臺的優勢有：
1、快速實現溫度/樣品的穩定；
2、溫度精度高及溫度均勻性好，可以準確的測量溫度；
3、能夠對大至數毫米的樣品快速地加熱和冷卻 ；
4、方便安裝/拆卸，在幾分鐘內即可把樣品臺恢復到正常狀態；
5、緊湊的尺寸允許 EBSD 所需的大角度傾斜，方便裝置的插入和取出；
6、可進行高溫下局部氣體反應的研究；
7、基于PC的溫度控器，實現準確控制能夠同步EBSD的面分布與溫度曲線；
8、樣品制備簡單易行。