真空系統：一般采用機械泵與分子泵聯動
電子槍：一般為CeB6（ 六硼化鈰）或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時，需頻繁更換，CeB6燈絲壽命超過1500小時，且亮度更高。目前尚沒有采用 場發射（Field Emission）的臺式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器： 背散射電子或二次電子探測器
