(1)物理性質:無色易揮發液體。蒸汽壓 74.65kPa/20℃;熔點-99℃,沸點26～28℃,閃點<0℃,折射率1.3580,密度0.648g/cm3。溶解性:不溶于水,溶于醚等多數有機溶劑。
(2)化學性質:穩定,不被濃硫酸或強堿分解。在紫外線照射下,可氯化成氯甲基三甲基硅烷。具有很高的熱穩定性,660～720℃下才開始分解。
