1975年首次發表使用微波能作為加速酸消化的方法，在此技術出現的早期，應用者是將聚四氟乙烯（PFA）壓力罐放入家用微波爐中完成溶樣的。研究表明，家用微波爐并不適合于在實驗室中溶解樣品，其主要原因是由于家用微波爐設計中，沒有考慮到溶樣過程中大量反射功率的存在。
被反射的微波回到磁控管會影響其正常發射，一方面大大縮短了微波爐的使用壽命，另一方面造成微波溶樣的重現性不好。隨著現代工業和電子技術的發展，出現了為分析實驗室溶解樣品專門設計的微波消解系統，它主要是由微波爐、控制微機和壓力罐組成的。
系統中微波爐的設計考慮到了溶樣過程中多種安全因素，其電器元件及微波腔、波導均有防酸處理；
有防止微波泄漏的安全鎖定裝置；磁控管前端裝終端循環器，可防止被反射的微波回到磁控管。
人們希望微波不僅進行快速加熱，且可量化地為反應提供精確能量控制，從而實現快速精確化學過程動力學控制。起初人們試圖通過固定微波功率/時間來控制反應達到穩定和一致的精確結果，事實證明在硬件操作和反應上是很難實現的，受制于難以精確定量微波儀器的硬件發射性能指標和反應物組成的不一致性。
直到自動變頻磁控管的出現才最終得以解決，超越了開始的不穩定的功率/反應結果的試驗關系，發展成現在建立的熱力參數/反應結果的直接量化關系。
美國CEM公司已經生產出了具備功率自動變頻控制反應的微波消解系統——MARS-5，現在人們無須設定功率，儀器對消解反應進行自動變頻功率反饋控制，通過量化微波化學熱力學規律，使實驗室樣品消解操作尋找到了高效、重現性及安全性的方法，達到了前所未有的境界。