2002年，UCLA研究人員利用硅芯片產生的硅光(Silicon Photonics)成功激發出拉曼激光。
2004年，他們發表了第一個硅激光（silicon laser）技術。
2005年二月，英特爾的研究人員展示了第二代的硅激光技術，稱為連續光波硅電射（continuous wave silicon laser,CW laser），它將外部光源導入特定的硅芯片后，可以產生穩定的激光光束。
因為晶體結構的組成方式，硅原子在被光子撞擊時，會持續震動，因此，在硅芯片中產生的拉曼效應，是玻璃的一萬倍。