在分析過程中，給管通電后，分析儀會發射定向輻射束。應盡合理的努力使放射線的暴露量保持在實際可行的劑量限度以下。這就是所謂的ALARA（最低合理可行）原則。三個因素將有助于最大程度地減少您的輻射暴露：時間，距離和屏蔽。
盡管便攜式x射線熒光光譜儀或手持式x射線熒光光譜儀元素分析儀發出的輻射與普通醫學X射線所接收的輻射相似，但必須注意始終將手持式x射線熒光光譜儀直接指向樣品，而切勿將其指向人身體的某一部分。
以下是七個安全提示：
1.為操作員提供輻射安全培訓
2.當主光束（X射線點亮）亮起時，切勿將設備對準自己或他人
3.分析過程中切勿盛裝新樣品
4.注意觀察主光束指示燈
5.遵從使用步驟
6.安全存儲–遵守本地存儲要求
7.如果遇到安全緊急情況，請及時就醫或聯系技術人員。