氦質譜檢漏儀的工作原理

檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。
在這個密封腔體內充滿氦氣，用質譜檢漏儀在不腔體外，不同部位檢測，如果密封存在問題，則有氦氣泄漏，被質譜儀檢測到。
質譜檢漏儀是一種簡易的質譜儀，對分辨率和檢測的質量范圍要求很低，但對靈敏度要求較高。
樓上的回答則是質譜儀中的一種磁質譜儀的原理和分析過程。
其實各個種類的質譜儀都可用來作為檢漏質譜儀，只是出于成本和靈敏度的考慮，更多的用的是四極桿質譜檢漏儀。