王曦：領航高端硅基產業藍海

　　王曦，中國科學院院士，我國著名半導體材料學專家，中科院上海微系統與信息技術研究所所長、我國高端集成電路襯底材料的主要開拓者和領軍人物。3月23日，他在上海科技獎勵大會上獲得了2017年度科技功臣獎。

　　在中國，如果提到高端硅基SOI材料研發和產業化，業內人士都會提到一個名字——王曦。

　　王曦，中國科學院院士，我國著名半導體材料學專家，中科院上海微系統與信息技術研究所所長、我國高端集成電路襯底材料的主要開拓者和領軍人物。

　　3月23日，52歲的他在上海科技獎勵大會上獲得了2017年度科技功臣獎。

　　起航：產業化先要有

　　中國的核心SOI技術

　　1996年，博士畢業后的王曦前往歐洲最大的離子束材料研究基地德國羅森多夫研究中心做訪問學者。1997年，中國科學院正在實施知識創新工程，時任中科院上海微系統所所長的江綿恒途經德國找到他，希望他回國發展。盡管王曦“洪堡”訪問學者研究還有一年才結束，但他歸心似箭，婉言謝絕了德國研究所負責人的再三挽留，于1998年6月回國。

　　王曦回國不久，得知一個震驚中國材料界的消息，IBM宣布將國際公認的21世紀微電子新材料SOI應用于處理器芯片生產，帶動一批著名半導體跨國公司進行這項技術的開發。SOI，是Silicon-on-insulator的簡稱，中文譯為絕緣體上的硅。國際上公認，SOI在低壓、低功耗電路、耐高溫電路、微機械傳感器、光電集成等方面具有重要應用價值。

　　王曦意識到，提升我國SOI技術應用研究力度、實現產業化進程迫在眉睫。33歲的王曦毅然擔起重任，帶領科研團隊，聚焦SOI材料制備中的關鍵技術“離子注入”，為了盡快趕上國際先進水平，夜以繼日地在實驗室里奮斗。奮斗迎來了曙光。2000年，離子束原位摻雜技術獲得重要進展，相關論文引發國際同行高度關注。

　　王曦說，基礎研究的科學家，要關心國家對產業的需求，將研究和國家的戰略需求結合起來，他也是這么做的。讓王曦和他的團隊引以為豪的是，通過技術創新和研發，解決了我國航天電子器件急需SOI產品的“有無”問題，為我國特殊領域核心元器件自主可控作出突出貢獻。

　　多年來，王曦致力于載能離子束與固體相互作用物理現象研究和產業轉移轉化并行，在國際學術期刊及學術會議上發表論文400余篇，申請發明ZL160余項；并榮獲何梁何利基金科學與技術進步獎、中國科學院杰出科技成就獎（第一完成人）、上海市科技進步獎一等獎（第一完成人）等獎項以及上海市領軍人才、全國創新爭先獎稱號。

　　領航：成功實現新一代硅基材料

　　SOI技術成果產業化

　　如果說1998年到2001年是SOI走出實驗室的攻堅階段，那么從2001年開始，SOI正式面向國民經濟主戰場，“下海試水”了。

　　2001年7月，為了將科研技術應用于高端集成電路襯底材料SOI開發，王曦推動中科院上海微系統所孵化成立了上海新傲科技股份有限公司。他和SOI課題組的5位博士一同進入公司，科學家王曦轉型成為董事長和CEO。

　　經過不懈努力，研究團隊開發了超低劑量SOI工藝，在國際上獨創了具有自主知識產權的注氧鍵合Simbond-SOI技術。王曦坦言，當自己和團隊經過無數個奮戰的晝夜，生產出一個個光潤無瑕、晶瑩剔透的“三明治”硅片的時候，大家的幸福感和激動之情溢于言表。

　　然而，經營管理企業，光擁有技術還遠遠不夠，融資、設備引進、技術突破、開拓市場……所有過程都比預想的要艱難。王曦說，每一個環節遇到的波折都足以使人放棄，僅融資就談了100多家才宣告完成。

　　憑著堅忍不拔的信念，王曦和他的團隊協力奮戰，同舟共濟，挺過了一個又一個風浪。眾人劃槳開大船，終于實現了SOI材料產業化，填補了國內空白。中國創造的硅片，遠銷西方發達國家，成功實現中國微電子材料的跨越式發展。

　　眾望所歸，“高端硅基SOI材料研發和產業化”榮獲2006年國家科技進步獎一等獎。上海新傲科技股份有限公司也因成功完成我國8英寸SOI材料產業化，成為了我國唯一的SOI材料研發和生產基地。

　　2014年，上海新傲科技股份有限公司和全球最大的SOI生產商法國Soitec簽署了合作協議，鞏固了雙方的戰略伙伴關系，樹立了中國企業在國際上的地位。王曦至今仍記得，當年創業初始，自己在法國曾在Soitec門口轉悠，只能和門衛聊聊天的情形；沒想到，時隔多年，自己能和這家行業巨頭在自己的祖國，平起平坐，握手合作。

　　中科院上海微系統所所長助理、新微集團（所辦公司）總經理秦曦告訴記者，王曦作為企業領導人，極具創新意識，這種創新意識不僅僅表現在技術上，更體現在體制機制創新上。他推動設立創投基金，不干預投資專家的判斷，他相信專業的人士對資本市場的熟稔程度遠勝于科學家。

　　而公司執行副總裁李煒則認為，王曦具有對硅材料國際市場的敏銳觀察力，他的投資決策和勇氣更讓人佩服，在他的決策下公司成功投資布局了2次國際收購。

　　當前，王曦正帶領他的團隊，繼續行走在產業化之路上。王曦大力推動上海一批半導體重大項目，積極從材料、制造、設計全方位布局我國發展12英寸FD-SOI產業實現中國IC“彎道超車”的戰略計劃；發起成立國內最大的12英寸大硅片制造公司——上海新昇半導體有限公司，成功拉出我國第一根高質量12英寸單晶硅棒，2017年銷售12英寸硅片近10萬片，填補我國大尺寸硅片產業空白。

　　重任：為張江實驗室

　　的發展而奮斗

　　王曦有很多不同的身份，其中之一是中國科學院和上海市人民政府聯合成立的張江實驗室主任。

　　王曦介紹說，2017年9月26日，張江實驗室正式掛牌成立，開啟了上海科創中心建設的嶄新篇章。在短短四個多月的時間里，張江實驗室各項工作取得了全方位、實質性的階段性進展。上海超強超短激光實驗裝置去年實現10拍瓦放大輸出，入選“十八大以來中科院20項標志性重大科技成果產出”。硬X射線自由電子激光裝置項目立項建設，是國內迄今為止投資最大的重大科技基礎設施。這些重大基礎設施和重大創新成果為張江實驗室的建設和發展奠定了堅實基礎。

　　他希望，能通過自己的努力，助力上海建設具有全球影響力的科技創新平臺，以更加開放的姿態會聚各方精英，實現科技創新對國家發展的戰略支撐作用。