利用微波等離子體化學氣相沉積方法,以甲烷、氫混合氣體為反應氣體,具有鈦鍍層的玻璃作為襯底,制備了具有sp1雜化結構的白碳納米晶薄膜。利用X射線衍射、俄歇電子能譜,以及掃描電子顯微鏡對薄膜結構進行了表征。以白碳納米晶薄膜為陰極,以鍍有ITO透明導電薄膜玻璃為陽極,采用二極管結構,測試了白碳納米晶薄膜的場致電子發射特性。開啟電場為2.5 V/μm,在電場為5 V/μm時的電流密度為200μA/cm2。對白碳納米晶薄膜生長機理,以及其場致電子發射機制進行了討論。
