與煉鋼電弧爐和埋弧爐等非真空電弧爐比較， 真空電弧爐的特點是：①用直流電源供電(電極接負極、坩堝接正極)，電弧在真空中相對穩定，不易熄滅。②電極和坩堝通常都用金屬材料制成， 爐內沒有耐火材料爐襯。③熔煉中被熔煉金屬能免受氧化和耐火材料的污染， 并得到良好的脫氣和促進金屬氧化物分解的精煉效果。④由于在密閉容器中熔煉， 所以環境污染小，工作環境好。⑤特別需要注意安全。真空電弧爐工作中，特別當熔煉鈦、鋯等活潑金屬時，如冷卻水進入坩堝，會引起爆炸。防范措施較多，主要有：電極與坩堝壁間的凈空距離應大于電弧長度， 在坩堝外側設置直流穩弧線圈，供電電纜作對稱布置，電極自動調節器應足夠靈敏等， 以防止電極與坩堝壁之間產生邊弧把坩堝擊穿；確保冷卻水暢通；設置防護墻，操作人員在墻外觀察操縱等。