等離子體原子發射光譜儀缺點：
1. 在經典分析中，影響譜線強度的因素較多，尤其是試樣組分的影響較為顯著，所以對標準參比的組分要求較高。
2. 含量（濃度）較大時，準確度較差。
3. 只能用于元素分析，不能進行結構、形態的測定。
4. 大多數非金屬元素難以得到靈敏的光譜線。
1 因為工作時需要消耗大量Ar氣，所以運轉費用高。
2 因目前的儀器價格尚比較高，所以前期投入比較大。
3 等離子體原子發射光譜儀如果不與其他技術聯用，它測出的只是樣品中元素的總量，不能進行價態分析。
