透射電鏡(TEM)

透射電鏡 (TEM)
 

　　樣品必須制成電子能穿透的，厚度為100～2000 ?的薄膜。成像方式與光學生物顯微鏡相似，只是以電子透鏡代替玻璃透鏡。放大后的電子像在熒光屏上顯示出來。圖1 透射電子顯微鏡的光路示意圖是其光路示意圖。TEM的分辨本領能達 3 ?左右。在特殊情況下能更高些。
 

　　(1)超高壓電鏡 (HVEM)　是一種TEM，不過常用的 TEM加速電壓為 100 kV。只能穿透幾千埃厚的樣品。電子的穿透能力隨 b2 = v2/c2 ( 電子速度與光速之比 )而增。由于相對論性效應，b2在 500 kV以上增加得就很慢了。目前有200 kV、300 kV和1000 kV的商品電鏡。法國和日本有3000 kV的特制電鏡。HVEM除加速筒以外與一般 TEM相似，只是尺寸放大了。1000 kV的電鏡有兩層樓高。放大尺寸后，樣品周圍空間增大，便于安置各種處理樣品的附件，如拉伸、加熱、冷卻、化學反應等副件，并能把它們與傾斜樣品臺結合起來；還可以做動態觀察，用電視記錄樣品處理過程中的變化。高能量的電子能造成樣品中的輻射損傷，這對研究材料輻射損傷的微觀機理帶來極大的方便。
 

　　(2)高分辨電鏡(HREM)　提高加速電壓，使電子波長更短，能提高分辨本領。由于技術上的難度高，所以至70年代初超高壓電鏡主要針對提高穿透率。70年代末至80年代初技術上的提高帶來了200 kV、300 kV的高分辨商品電鏡及個別500 kV、600 kV和1000 kV的HREM。分辨本領能達2 ?左右。不久將能達到1.5 ? 。由于生物學分子極易被輻照損傷，所以目前HREM主要用于觀察無機材料中的原子排列。