| 儀器名稱： | 高低溫全自動探針臺-Opus 3 SLT |
| 儀器編號： | 22007413 |
| 產地： | 韓國 |
| 生產廠家： | Semics Inc. |
| 型號： | Opus 3 SLT |
| 出廠日期： | |
| 購置日期： | 2022-06-30 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>高精尖 |
| 放置地點： | 荷清大廈高精尖一層實驗室 |
| 固定電話： | 010-62799552-1168 |
| 固定手機： | 15210967285 |
| 固定email： | jtyang@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 楊建濤（010-61453947,15210967285,jtyang@mail.tsinghua.edu.cn） 王艷平（010-66668888,15010148547,yanpingwang1009@mail.tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 集成電路 |
| 技術指標： | 卡盤（Chuck）能承載200KG。 配備OCR影像識別及自動對針系統。對針鏡頭為對準探針的上看方式，完全自動，量產不需要每次人工對準 配備GPIB通訊模組。 同時支持8吋及12吋晶圓自動探針測試。 圖形（Mapping）格式適用于TSK、TEL、OPUS等廠家的驅動。 GPIB支持TSK、TEL、OPUS等廠家的驅動。 圖形（Mapping）實時上傳到服務器指定路徑。 記錄（Log）實時上傳至指定路徑。 支持CLEAN PAD（100 mm*200 mm）和CLEAN WAFER(8 &12INCH)兩種清針模式。 通過TeamViewer、VNC軟件遠程控制。 測試溫度范圍：-55℃~200℃ 測試溫度精度：±1℃ 可測晶圓尺寸：同時支持8吋及12吋 可接受的管芯大小：0.2mm-100mm 系統總體精度：±1.5 um 卡盤（Chuck）的平坦度在15μ之內 平均故障間隔時間MTBF超過180H 可接受wafer彎曲度:8吋 wafer/ WP:2mm 12吋 wafer/ WP:2mm |
| 知名用戶： | 唐建石（集成電路學院） |
| 技術團隊： | 測試工作由實驗室資深的工程師或者技術人員進行操作和支援 |
| 功能特色： | 配備OCR影像識別及自動對針系統。對針鏡頭為對準探針的上看方式，完全自動，量產不需要每次人工對準 配備GPIB通訊模組。 同時支持8吋及12吋晶圓自動探針測試。 圖形（Mapping）格式適用于TSK、TEL、OPUS等廠家的驅動。 GPIB支持TSK、TEL、OPUS等廠家的驅動。 圖形（Mapping）實時上傳到服務器指定路徑。 記錄（Log）實時上傳至指定路徑。 支持CLEAN PAD（100 mm*200 mm）和CLEAN WAFER(8 &12INCH)兩種清針模式。 通過TeamViewer、VNC軟件遠程控制。 |
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 高低溫全自動探針臺測試費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 220.0 |