AFM的Tapping模式

a）點擊實驗方案選擇圖標，打開界面；

b）選擇實驗具體模式，Tapping Modee；

c）選擇實驗環境Air進入實驗界面；

d）根據上面提到的步驟，調整激光，并將Head靠近樣品表面以看清樣品；

e）點擊 “Check Parameters” 圖標；

f） 設定以下掃描參數：Scan size小于 1 um，X offset和 Y offset設為0；

g）Scan angle 設為 0；

h）Tapping模式需找探針固有振動頻率。點擊“Auto Tune”，可以得到探針的共振峰；i）點擊 Engage進針；

j）進針結束開始掃圖，將Scan size 設置成要掃的形貌大小；

k）觀察Height Sensor圖中觀察Trace和Retrace兩條曲線的重合情況；

l）優化Setpoint。在 Tapping模式下，調節Amplitude setpoint直到Trace和Retrace兩條掃描線基本一致；

m）優化Integral gain和 Proportional gain，一般的調節方法為：增大 Integral gain，使Trace和Retrace曲線開始震蕩，然后減小 曲線開始震蕩，然后減小Integral gain直到震蕩消失，接下來用相同的辦法調Proportional gain。通過調節增益來使兩條掃描線基本重合并且沒有震蕩；

n）調節掃描范圍和速率。隨著的增大，必須相應降低調節掃描范圍和速率；

o）如果樣品很平，可以適當減小Z Range的數值，這將提高 Z方向的分辨率。