ICP光譜儀霧化裝置通常由霧化器和霧室及相應的供氣管路組成，構成了樣品引入系統，對霧化性能有重要影響。溶液試樣經霧化器(nebulizer)霧化后，進入霧室(spray
chamber)。在霧室中，大的霧滴被“濾’’掉成為廢液排出，只有那些直徑約為10μm以下的細微霧滴才被載氣帶入原子光譜的分析區。實際上，普通霧化器的霧化效率很低，僅為1%～3%，很少有超過5%的，被吸噴溶液樣品的絕大部分都成為廢液被排去。霧化器的霧化效率不僅與霧化器的結構有關，還與溶液的粘度、表面張力、密度等物理性質有關。為了提高霧化效率，增強光譜強度，降低分析檢出限，許多工作者一直在研究改進霧化裝置。
ICP光源對霧室的要求：
1、細化霧珠，去除大于10μm直徑的霧滴，與霧化器配合，向ICP光源提供均勻而細小的高密度試液氣溶膠；
2、較小的容積，較低的記憶效應，容易清洗；
3、緩沖由于進樣而引起的脈動，使載氣氣溶膠流能平穩進入光源；
4、能連續地平穩地排除廢液。
試樣引入在ICP光譜儀分析中是一個薄弱環節，但也是一個極為活躍、極為重要的研究領域，一直是ICP光譜儀技術研究的一個熱點問題。因為試樣引入技術的改進不僅可以在很大程度上對方法分析性能的改善起十分重要的作用，而且還可以擴展分析方法的應用范圍。
選擇適當的進樣方法要考慮的因素有：
①樣品的類型、制樣方法或富集方法；
②被測組分的含量水平；
③準確度要求；
④精密度要求；
⑤可耗用的試樣的量；
⑥分析速度要求；
⑦特殊要求，如化學形態、無損或微損、疵斑分析
⑧可采用的儀器和測定方法等。
一般引入ICP光譜儀器的試樣囊括了固體、溶液、氣體三類樣品。其中溶液是最常見的樣品形式，而且溶液霧化法是經常采用的進樣方式，尤其以氣動霧化為常規進樣技術。