| 儀器名稱： | 合金爐 |
| 儀器編號： | 11013950 |
| 產地： | 美國 |
| 生產廠家： | THERMCO |
| 型號： | MB-81 |
| 出廠日期： | 200406 |
| 購置日期： | 201107 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>薄膜工藝 |
| 放置地點： | 新所一樓工藝平臺 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 曹秉軍（010-62784044,13910803625,caobj@mail.tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 半導體 微納加工 集成電路 合金 |
| 技術指標： | 4寸硅片，合金工藝。工藝溫度390℃，430℃，450℃。 |
| 知名用戶： | 吳華強 微電子所；許軍 微電子所；陳煒 微電子所；錢鶴 微電子所；劉澤文 微電子所；岳瑞峰 微電子所； 王喆垚 微電子所；蔡堅 微電子所；鄧寧 微電子所；伍曉明 微電子所；張志勇 北京大學； 金傳洪 浙江大學電教中心；何立平 中科院物理所 ；泰科天潤 泰科天潤 |
| 技術團隊： | 曹秉軍 張忠會 竇維治 |
| 功能特色： | 4寸硅片，合金工藝。工藝溫度390℃，430℃，450℃。 |
樣品要求：
同時可做25片；硅片尺寸： 4英寸、5英寸
預約說明：
實驗室的設備采用網上預約的方式、以先約先用為基本原則
取消預約需提前2個小時通過網上取消預約
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 合金爐-機時費 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 400.0 | |
| 合金爐-送樣測試費 | 元/小時 | 測試費 | 400.0 |