xps包峰是振激峰shake up。XPS譜圖一般包括光電子譜線，衛星峰（伴峰），俄歇電子譜線，自旋-軌道分裂(SOS)等。通常所說的衛星峰是振激峰shake up，一般金屬態的較小，氧化態的振激峰比較明顯，所以我們可以通過振激峰初步判斷物質形態、價態。在光電離過程中，若離子不處在基態而處在激發態，則這部分原子發射的光電子動能將減少，所以表現出在高幾個ev的地方出shake up。
