氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
最小可檢漏率： 5×10-12Pa·m3/s
漏率顯示范圍： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s
證券之星消息，根據天眼查APP于3月5日公布的信息整理，北京中科科儀股份有限公司完成C輪融資，融資額數千萬人民幣，參與投資的機構包括國科嘉和。北京中科科儀股份有限公司的歷史融資如下：北京中科科儀股份有......
中新網蘭州6月5日電(閆姣)中國航天科技集團有限公司五院510所(以下簡稱“航天510所”)5日披露，在神舟十四號飛船中，該所承擔了結構與機構、熱控、測控、儀表與照明、環控生保等5個重要分系統中共計4......
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氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的......
日本產綜研開發出了能夠有選擇地以高靈敏度（1分鐘內2ppm）檢測出半導體制造工藝中用到的含氟蝕刻氣體的檢測劑，并且試制出了使用這種檢測劑的小型檢漏儀。這種檢測劑還可以用來檢測更高性能的新一代含氟蝕刻氣......