TEM基本操作

A.聚光鏡對中：一般的透射電鏡拍攝需要插入一級聚光鏡光闌，剛插入時電子束可能不在熒光屏中心，如圖四（a）；這時需要先會聚電子束于一點，調節電子束平移至中心，再散開光斑，調節光闌旋鈕使之仍在中心，反復幾次后，電子束與熒光屏能同心收縮，如圖四（b）。

B.合軸：在電鏡高壓穩定之后，應該進行系統的合軸調整，一般情況下在alpha設為3時，平移電子束和電子槍位置，使spot size1~5的電子束都能會聚在熒光屏中心。

C.選取合適的衍射條件：很多人在拍攝晶體樣品時，往往會忽略這一步，如圖五中，在不同的衍射條件下，晶粒內部顯現出來的微觀結構會發生變化。根據晶帶定律：hu+kv+lw=0，選取適當的低指數晶帶軸[uvw]，可以保證衍射束數目(hkl)足夠多以及隨后投影內勢函數計算有足夠的精度。由于透射電鏡的衍射襯度和晶體取向也有關，所以在低指數晶帶軸附近的“雙光束條件”條件下拍攝，會讓位錯等缺陷更清晰的顯現出來，以便進行統計和分析。

D.調焦：調整樣品高度，使圖像盡量清晰明銳，可以根據薄膜樣品邊緣出現的菲涅爾條紋（Fresnel fringes）的狀態來調節物鏡焦距旋鈕，如圖六所示。在欠焦狀態下，孔洞邊緣的外側會出現呈白色的菲涅爾條紋（黃色箭頭處），正焦狀態下邊緣平滑無菲涅爾條紋，而在過焦狀態下菲涅爾條紋會在邊緣內側（黃色箭頭處）。菲涅爾條紋會隨著欠焦或過焦程度的增大而變寬，因此往條紋變窄的方向調節就能達到正焦狀態。另外，還可以通過樣品上顆粒的襯度進行調節，正焦狀態下的顆粒對比度最低，看起來最平滑。值得注意的一點是，為了得到質量更好的透射照片，往往會選擇在正焦狀態的基礎上再欠焦一點點，以增強對比度，讓圖片看起來更清晰。

E.物鏡消像散：一般物鏡光闌尺寸和位置的微小變化會引起像散，如果觀察的是磁性材料會干擾物鏡磁場也需要消像散，對一般的材料來說，主要是在拍攝高分辨照片時才會對物鏡像散有嚴格的要求。

低倍下，可以看出物鏡像散會使菲涅爾條紋發生扭曲，一部分在邊緣內測而另一部分在外側，如圖七所示是有物鏡像散和無像散的對比。這時，可以先利用前面的方法將圖像調節到欠焦或者過焦，然后調節物鏡像散使菲涅爾條紋恢復均勻對稱，即可消除像散。

高分辨模式下（100K倍甚至更高倍數），則最好需要在非晶區域進行物鏡像散的調節。如圖八所示，是不同條件下的非晶碳膜高分辨照片。需要先調節物鏡光闌的焦距，使圖像盡量清晰，對比度合適，然后進行消像散，使圖一片均勻，在正焦下看起來似乎什么都沒有，但欠焦和過焦圖像應該很清楚，且過焦與欠焦的圖像只有襯度變化，麻點的形狀應一致麻點，沒有方向性。這樣就表明調好了。也可以利用FFT（Fast Fourier Transformation）圖像來輔助調節，當FFT 圖像為橢圓時表明有像散，調節至FFT 圖像為正圓，說明已調好。

一般來說，根據麻點對比度和FFT調節物鏡像散需要在100K倍以上才會有效，所以建議現在低倍下根據菲涅爾條紋調節，然后逐步升高倍數，這樣才能保證物鏡像散不會越調越偏。萬一真的不小心調得越來越偏，感覺自己越調越差回不去了，怎么辦？別急，可以在調節物鏡像散的模式下，點擊NTRL（復位）按鈕恢復到初始狀態。

一般來說，經過以上的逐步調節，就可以順利的拍攝從低倍到高倍的各種透射照片了。剩下的就是調節拍照軟件上的對比度和曝光時間，就能得到比較高質量的圖像了。另外還有個小建議，就是在保存圖片的時候最好存兩種格式：拍照軟件的專用格式和TIFF。選擇軟件專用格式是為了保存圖片的所有完整信息，以備日后重新檢查；TIFF相比較其他BMP、JPEG、PNG等格式而言，存儲圖像細微層次的信息更多，圖像的質量也非常高，故而非常有利于原稿的復制。