近物所離子聯合注入單晶硅制備SOI材料研究獲進展
中科院近代物理研究所科研人員將320 kV高壓平臺提供的氦離子和氧離子聯合注入單晶硅，研究氦離子注入所導致的氦泡和納米空腔與氧原子的相互作用機理，獲得進展。 實驗中，科研人員首先向單晶硅中注入30 keV、3×1016/cm2的氦離子，然后將樣品切成兩塊：一塊做退火處理，退火溫度為1073K，退火時間為30分鐘；另外一塊不做退火處理。實驗清楚地表明：退火前樣品內部存在高密度的氦泡。其截面透射電鏡結果如圖1所示。 科研人員將注氦后的樣品再注入100 keV的氧離子，劑量為3×1016/cm2。再選擇一塊單晶硅，注入同樣條件的氧離子。氧離子注入完成后，經高溫退火處理 (1423K,3h和1473K,2h)，退火氣氛為Ar/O2 (100/10)。利用截面透射電鏡研究了樣品內部的微結構氧原子分布，發現氦、氧離子聯合注入能夠提高樣品內部氧的含量，降低樣品內部缺陷的密度，如圖2和3所示。 這些研究表明：氦離子注入......閱讀全文
近物所離子聯合注入單晶硅制備SOI材料研究獲進展
中科院近代物理研究所科研人員將320 kV高壓平臺提供的氦離子和氧離子聯合注入單晶硅，研究氦離子注入所導致的氦泡和納米空腔與氧原子的相互作用機理，獲得進展。 實驗中，科研人員首先向單晶硅中注入30 keV、3×1016/cm2的氦離子，然后將樣品切成兩塊：一塊做退火處理，退火溫
科研人員發現氧摻雜可以引發層間Pt原子的重構
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/8/506770.shtm近日，來自西北工業大學和西安交通大學的學者使用具有明確晶體結構和原子厚度的二維 PtTe2 范德華材料作為模型催化劑，觀察到適度的煅燒策略可以促進二維晶體 PtTe2 納米片（c-Pt
離子注入機概述
? 離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應用數量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導體材料、大規模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。? ?中文名：離子注入機 ??? ?外文名:Ion implanter ? ??? ?屬? ?性
離子注入機的應用
離子注入機是集成電路制造前工序中的關鍵設備，離子注入是對半導體表面附近區域進行摻雜的技術，其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類型。離子注入與常規熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴散等方面進行精確的控制，克服了常規工藝的限制，提高了電路的集成度、開啟速度、成品率和壽命，降低了
離子注入機的原理
離子注入機由離子源、離子引入和質量分析器、加速管、掃描系統和工藝腔組成，可以根據實際需要省去次要部位。離子源是離子注入機的主要部位，作用是把需要注入的元素氣態粒子電離成離子，決定要注入離子的種類和束流強度。離子源直流放電或高頻放電產生的電子作為轟擊粒子，當外來電子的能量高于原子的電離電位時，通過
科研人員揭示食鹽原子級別溶解機制
近日，深圳理工大學（籌）材能學院教授、中國科學院深圳先進技術研究院丁峰團隊聯合韓國蔚山科學技術大學新材料工程系教授Shin Hyung-jun研究團隊開發了一種“單離子控制技術”，研究團隊成功在原子級別上觀察到食鹽溶解過程，并實現了在原子級別控制氯化鈉的溶解過程。相關研究成果發表在《自然—通訊》上。
科研人員揭示食鹽原子級別溶解機制
近日，深圳理工大學（籌）材能學院教授、中國科學院深圳先進技術研究院丁峰團隊聯合韓國蔚山科學技術大學新材料工程系教授Shin Hyung-jun研究團隊開發了一種“單離子控制技術”，研究團隊成功在原子級別上觀察到食鹽溶解過程，并實現了在原子級別控制氯化鈉的溶解過程。相關研究成果發表在《自然—通訊》上。
大連化物所等金屬載體界面結構研究取得新進展
近日，中國科學院大連化學物理研究所催化基礎國家重點實驗室催化反應化學研究組副研究員周燕、研究員申文杰等與德國卡爾斯魯厄理工學院教授汪躍民、丹麥托普索公司博士Jens Sehested等合作，在銅催化劑活性位原子結構及反應機理研究方面取得新進展。研究成果在線發表在《自然-催化》（Nature Ca
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氧族元素的原子結構
原子序數元素電子層結構8氧2, 616硫2, 8, 634硒2, 8, 18, 652碲2, 8, 18, 18, 684釙2, 8, 18, 32, 18, 6116鉝2, 8, 18, 32, 32, 18, 6相同點·原子最外層有6個電子·反應中易得到2個電子·表現氧化性不同點·除氧外其它氧族
離子注入機有哪些類型
常用的生產型離子注入機主要有三種類型：低能大束流注入機、高能注入機和中束流注入機，如下表所示：離子注入機類型離子注入機類型能量范圍注入劑量范圍工藝中的主要應用低能大束流離子注入機0.2keV~100keV超淺結、源漏注入、多晶硅柵極注入等高能離子注入機~MEV深埋層等 低能大束流離子注入機：大
離子注入機的結構組成
離子注入機由5部分組成：離子源、離子引出和質量分析器、加速管、掃描系統、工藝腔。 1、離子源 離子注入機利用離子源中燈絲產生的熱電子在電場的作用下轟擊氣體分子，使之電離。待注入的雜質源如果是氣態，便可以直接引入到離子源的電場中，如果是固態，則還需加熱蒸發，變為氣相后引入到這個電場中。氣相的雜
聚焦離子束（FIB）技術介紹
1.引言?????隨著納米科技的發展，納米尺度制造業發展迅速，而納米加工就是納米制造業的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束（FIB）技術利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工，配合掃描電鏡（SEM）等高倍數電子顯微鏡實時觀察，成為了納米級分析、制造的主要方法。目
稀磁性半導體的制備方法
分子束外延法分子束外延（MBE）技術由于其在原子尺度上精 確控制外延膜厚、摻雜和界面平整度的特點，明顯優 于液相外延法和氣相外延生長法，更有利于生長高質 量DMS薄膜。采用低溫分子束外延（LT-MBE）技術， 能夠有效的抑制新相的析出，同時輔助以高能電子衍 射儀（RHEED），監控生長過程中的表面再
金星白晝側直接探測到原子氧
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/11/512030.shtm
科研人員揭示鏈球菌抗氧脅迫新機制
鏈球菌是革蘭氏陽性、兼性厭氧細菌，它們主要棲息在人類口腔及上呼吸道，與人類健康密切相關。其中肺炎鏈球菌（Streptococcus pneumoniae）是機會致病菌，導致肺炎、腦膜炎等疾病；變形鏈球菌(S. mutans）是齲齒的主要致病菌；而口腔有益菌寡發酵鏈球菌(S. oligoferme
離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋
記者29日從中國電子科技集團獲悉，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司（以下簡稱電科裝備）已實現離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。 據悉，離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備，28納米則是當前芯片應用領域中覆蓋面最廣的成熟制程。 電科裝備連
離子注入碳后鈾表面吸附行為研究
本文利用俄歇電子能譜(AES)研究了清潔純鐵、離子注入碳純鐵、清潔鈾以及離子注入碳鈾表面與氧氣吸附及初始氧化的過程。 首先,實驗分析了不同氧暴露劑量對純鐵、離子注入碳純鐵、鈾、離子注入碳鈾表面吸附及初始氧化過程的影響,研究結果表明:室溫下,純鐵表面吸附氧氣及初始氧化的速率大于離子注入碳純鐵表面吸附氧
透射電鏡下看到的原子像的物理意義是什么？
問：透射電鏡得到的圖像應該是厚度襯度和衍射襯度的疊加。就衍射襯度來講是不是晶格對電子散射之后電子的在平面上的分布密度。為什么能夠稱為原子像呢？另外微過焦和微欠焦時候有時候是亮點為原子像，有時候是暗點是。答：寫在最前面：知乎里面經常看到關于某某的本質是啥的問題。就成像而言，我來談談我的理解。“ 成像的
透射電鏡下看到的原子像的物理意義是什么？
所謂TEM，就是一個放大鏡疊加了一臺照相機。這臺放大鏡的放大倍數比較高，可高達一百萬倍。當然，拋開分辨率談放大倍數都是耍流氓，那么，TEM的分辨率有多高呢？答案是 it depends。一般來說，TEM的分辨率要在1到2個納米，STEM更高，但是STEM得成像技術類似于SEM，但用的不是二次電子。我
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透射電鏡得到的圖像應該是厚度襯度和衍射襯度的疊加。就衍射襯度來講是不是晶格對電子散射之后電子的在平面上的分布密度。為什么能夠稱為原子像呢？另外微過焦和微欠焦時候有時候是亮點為原子像，有時候是暗點。Part 1: Transmission Electron Microscope (TEM)所謂TEM，
納米催化“高穩定性”新星誕生
提到大型化工，人們往往首先想到鱗次櫛比的工業廠房。然而，在這些高聳入云的“鋼鐵森林”里面，決定化工過程效率的卻是眾多的催化劑。這些催化劑通過調控反應途徑和加速反應進程提高效率，其中在納米乃至原子尺度上的活性位結構更是催化作用的核心。 近日，中國科學院大連化學物理研究所（以下簡稱大化所）催化基礎
納米催化“高穩定性”新星誕生
提到大型化工，人們往往首先想到的是鱗次櫛比的工業廠房。然而，在這些高聳入云的“鋼鐵森林”里面，決定化工過程效率卻是眾多的催化劑。這些催化劑通過調控反應途徑和加速反應進程提高過程效率，其中在納米乃至原子尺度上的活性位結構是催化作用的核心。 近日，中國科學院大連化學物理研究所（以下簡稱“大化所”
原位液相樣品桿的優點
原位液相樣品桿可幫助科學家對流動或靜態液體進行原子分辨率的觀察。隨著科學技術的飛速發展，普通透射電鏡（TEM）已經不能滿足科學家的科研需求。而在透射電鏡基礎上發展而來的原位技術，能夠突破現有透射電鏡對于真空度要求的限制，利用現有電鏡平臺即可完成原位氣體環境及加熱功能，使科研工作者能夠在更寬的參數（氣
科研人員成功制備出34種單原子催化劑
記者從中國科學技術大學獲悉，該校合肥微尺度物質科學國家研究中心和化學物理系曾杰教授、周仕明副教授研究團隊，發展出了一套利用電化學沉積制備單原子催化劑的普適性方法，利用該方法研究人員成功制備出了34種單原子催化劑，覆蓋了多種過渡金屬和多種襯底。相關成果日前發表在《自然·通訊》上。 單原子催化劑因
遼寧成功運用“氧剪刀”制備懸浮硅原子單層
近日，大連理工大學與澳大利亞伍倫貢大學合作，在硅烯材料的氧化和單原子層剝離方面取得重要突破，成功利用氧分子作為“剪刀”，將硅烯原子層從金屬基底上剝離，為硅烯器件研究提供了解決方案。相關成果發表在《科學》子刊《科學進展》上。 硅烯在由實驗室走向工業化應用的道路上依然面臨著很多的困難。最大的挑
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近日，大連理工大學與澳大利亞伍倫貢大學合作，在硅烯材料的氧化和單原子層剝離方面取得重要突破，成功利用氧分子作為“剪刀”，將硅烯原子層從金屬基底上剝離，為硅烯器件研究提供了解決方案。相關成果發表在《科學》子刊《科學進展》上。 硅烯在由實驗室走向工業化應用的道路上依然面臨著很多的困難。最大的挑戰
科研人員發現銅氧超導體過摻雜存在普遍電荷序
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/9/509513.shtm北京大學物理學院量子材料科學中心彭瑩瑩課題組運用先進的共振X射線散射譜學技術，在銅基超導La2-xSrxCuO4超導區域外過摻雜區發現電荷有序相——“電荷晶體”，打破了該區域通常被認為
科研人員提出環氧環己醇類天然產物生物合成新策略
真菌聚酮合酶（polyketide synthases, PKSs）是一類高度程序化的迭代型I型聚酮合酶，通過一組功能結構域的迭代和交替使用，可以精確合成具有特定結構的聚酮產物，如降膽固醇藥物洛伐他汀等。依據所合成聚酮產物骨架結構的還原程度，真菌PKSs被分為三大類，即高度還原型聚酮合酶（hig